Ultraince bariyerli GaN-temelli yüksek elektron hareketliliğine sahip transistörlerin elektriksel özellikleri ve saçılma analizleri


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2018

Öğrenci: MEHMET ÖZTÜRK

Danışman: SEFER BORA LİŞESİVDİN

Özet:

Bu çalışmada MOCVD tekniği ile büyütülmüş ultraince bariyerli AlN/GaN ve In0,17Al0,83N/GaN yüksek elektron hareketlilikli transistör (HEMT) yapılarının Hall etkisi ve taşıyıcı yoğunluğu ölçümleri 15-300 K sıcaklıkları aralığında ve 0,5 T sabit manyetik alan altında yapıldı. Ölçümler sonucunda 2-Boyutlu elektron gazı (2DEG) taşıyıcı yoğunlukları ve hareketlilikleri hesaplandı. Sıcaklığa bağlı Hall etkisi ölçüm sonuçları kullanılarak her bir numune için elektron hareketliliğini etkileyen saçılma mekanizmalarının analizleri yapıldı. Saçılma analizleri sonucunda, deformasyon potansiyeli, korelasyon uzunluğu ve kuyu genişliği gibi numuneler ile ilgili parametreler belirlendi.