Akademik Veri Yönetim Sistemi
Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2013
Öğrenci: NEVİN DEMİREL
Danışman: SELİM ACAR
Özet:Bu çalışmada, atomik tabaka biriktirme (ALD) metoduyla Al/Al2O3/p-Si metal- oksit-yarıiletken yapı üretilmiştir. Üretilen numunenin gaz ortamında (karbonmonoksit ve karbondioksit), farklı sıcaklıklarda (350 K-375 K-400 K ve 450 K) ve farklı gaz konsantrasyonlarında (2000 ppm-1000 ppm- 500 ppm- 250 ppm- 125 ppm- 50 ppm) zamana bağlı olarak elektriksel karakterizasyonu yapılmıştır. CO ve CO2 gazının her ikisi içinde gaz konsantrasyonu arttıkça duyarlılıklar artmıştır. 2000 ppm gaz konsantrasyonunda, her iki gaz içinde maksimum duyarlılıklar elde edilmiştir. Artan sıcaklıkla duyarlılıkta artma meydana gelmiştir. Numunenin her iki gaz için en uygun çalışma sıcaklığının ölçülen sıcaklık değerleri içinde 450'de olduğu gözlenmiştir. Bu sıcaklık değerinde, CO gazı için duyarlılık %19 iken, CO2 gazı için duyarlılık %28 olarak belirlenmiştir.