METAL-YALITKAN-YARIİLETKEN YAPILARIN ELEKTRİKSEL ÖZELLİKLERİNİN FREKANS VE SICAKLIĞA BAĞLI İNCELENMESİ


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2010

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: Faruk KİRAZOĞLU

Danışman: ADEM TATAROĞLU

Özet:

Bu çalışmada, Au/SnO2/n-Si (MIS) yapının, frekans ve sıcaklığa bağlı kapasitans-voltaj (C-V) ve iletkenlik-voltaj (G/w-V) karakteristikleri, seri direnç (Rs) ve arayüzey durum (Nss) etkileri dikkate alınarak, sırasıyla 100 Hz-1 MHz frekans ve 100-400 K sıcaklık aralığında incelendi. Nss ve Rs değerlerinin önemli ölçüde frekans ve sıcaklığa bağlı olduğu tespit edildi. Seri direnç hem artan frekans hem de artan sıcaklık ile azalmaktadır. Ayrıca, ölçülen kapasitans (Cm) ve iletkenlik (Gm/w) değerleri MIS yapının gerçek kapasitans ve iletkenliğini bulmak için, seri direnç etkisinden dolayı düzeltilmiştir. Deneysel sonuçlar, metal-yarıiletken arasındaki arayüzey yalıtkan tabaka kalınlığı, seri direnç ve arayüzey durumları MIS yapının elektriksel karakteristikleri üzerinde önemli bir rol oynadığını göstermiştir.