Reaktif Püskürtme Yöntemiyle Elde Edilen TiN ve TiNxOy İnce Filmlerin yapısal ve elektriksel Özellikleri

Özkök Y., Akın Sönmez N., Baran V., Öztürk M., Çakmak M., Özçelik S.

23. Yoğun Madde Fiziği Toplantısı, Ankara, Turkey, 22 December 2017

  • Publication Type: Conference Paper / Summary Text
  • City: Ankara
  • Country: Turkey
  • Gazi University Affiliated: Yes