Atomic Layer Deposition of HfO2 Thin Films for Gas Sensing Applications

---

BARİN Ö., KARADUMAN I., DEMİR M., YILDIZ D. E., ACAR S.

2nd International Congress on Biosensors, 10 - 12 Haziran 2015, (Özet Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
• Gazi Üniversitesi Adresli: Evet