Farklı Ar/N2 Plazma Gazı Oranlarında Reaktif Püskürtme Yöntemiyle TiN ve TiNxOy İnce Film Kaplamalar

Özkök Y., Akın Sönmez N., Efkere H. İ., Çakmak M., Öztürk M., Özçelik S.

19. Ulusal Optik, Elektro-Optik ve Fotonik Çalıştayı (FOTONİK 2017), Ankara, Turkey, 29 September 2017

  • Publication Type: Conference Paper / Summary Text
  • City: Ankara
  • Country: Turkey
  • Gazi University Affiliated: Yes