Farklı Ar/N2 Plazma Gazı Oranlarında Reaktif Püskürtme Yöntemiyle TiN ve TiNxOy İnce Film Kaplamalar

Özkök Y., Akın Sönmez N., Efkere H. İ., Çakmak M., Öztürk M., Özçelik S.

19. Ulusal Optik, Elektro-Optik ve Fotonik Çalıştayı (FOTONİK 2017), Ankara, Turkey, 29 September 2017, (Summary Text)

• Publication Type: Conference Paper / Summary Text
• City: Ankara
• Country: Turkey
• Gazi University Affiliated: Yes