Back-Side Via Etching Application of SiC for GaN-Based Transistors

haliloglu m. t., LİŞESİVDİN S. B., ÖZBAY E.

1st Light and Light-Based Technologies Workshop, Ankara, Türkiye, 15 Mayıs - 15 Ağustos 2018, ss.51

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Ankara
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.51
  • Gazi Üniversitesi Adresli: Evet