Structural and Optical Properties of Si3N4 Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

BAŞKÖSE Ü. C., KURTULUŞ G., ÇETİN S. Ş., SAĞLAM S., ÖZÇELİK S.

International Turkish Congress on Molecular Spectroscopy (TURCMOS2013), İstanbul, Türkiye, 15 - 20 Eylül 2013

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: İstanbul
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Gazi Üniversitesi Adresli: Evet