Chemical Vapor Deposition of 3C-SiC Films on patterned SOS Substrates


Doç. Dr. FUNDA TURGUT BAŞOĞLU

Tez Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Kansas State University {Kansas}, Kimya Mühendisliği, Amerika Birleşik Devletleri

Tez Danışmanı: PROF.DR. JAMES EDGAR

Tezin Onay Tarihi: 1997