RECIPE OPTIMIZATION FOR SYNTHESIS OF ZNO AND AL2O3 THIN FILM BY USING ATOMIC LAYER DEPOSITION


ATEŞ H. , sönmez m., yüksel m., kupa i., BAHÇECİ E., DEPCİ T., ...Daha Fazla

4 T H I N T E R N A T I O N A L C O N F E R E N C E O NE N G I N E E R I N G A N D N A T U R A L S C I E N C E S, Kiev, Ukrayna, 2 - 06 Mayıs 2018, ss.8-12

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Kiev
  • Basıldığı Ülke: Ukrayna
  • Sayfa Sayıları: ss.8-12