Reaktif Püskürtme Yöntemiyle Elde Edilen TiN ve TiNxOy İnce Filmlerin yapısal ve elektriksel Özellikleri

ÖZKÖK Y., AKIN SÖNMEZ N. , BARAN V., ÖZTÜRK M. , ÇAKMAK M. , ÖZÇELİK S.

23. Yoğun Madde Fiziği Toplantısı, Türkiye, 22 Aralık 2017

  • Basıldığı Ülke: Türkiye