Reaktif Püskürtme Yöntemiyle Elde Edilen TiN ve TiNxOy İnce Filmlerin yapısal ve elektriksel Özellikleri

Özkök Y., Akın Sönmez N., Baran V., Öztürk M., Çakmak M., Özçelik S.

23. Yoğun Madde Fiziği Toplantısı, Ankara, Türkiye, 22 Aralık 2017

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Ankara
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Gazi Üniversitesi Adresli: Evet