Atomik Tabaka Biriktirme Metodu ile Üretilen HfO2 Tabanlı Sensörlerin Hidrojen Gaz Algılama Özelliklerinin İncelenmesi


Karaduman I., Barin Ö., YILDIZ D. E. , ACAR S.

Journal of Politechnic, vol.19, no.3, pp.223-229, 2016 (Other Refereed National Journals)

  • Publication Type: Article / Article
  • Volume: 19 Issue: 3
  • Publication Date: 2016
  • Title of Journal : Journal of Politechnic
  • Page Numbers: pp.223-229