A Fast AFM Probe with Integrated Interferometric Sensing and Electrostatic Actuation

Değertekin F. L., Onaran A. G., BALANTEKİN M., Gorp B. V., Parlak Z.

ECS Meeting, Amerika Birleşik Devletleri, 7 - 12 Ekim 2007

  • Yayın Türü: Bildiri
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Gazi Üniversitesi Adresli: Hayır