A Fast AFM Probe with Integrated Interferometric Sensing and Electrostatic Actuation


Değertekin F. L. , Onaran A. G. , BALANTEKİN M. , Gorp B. V. , Parlak Z.

ECS Meeting, Amerika Birleşik Devletleri, 7 - 12 Ekim 2007

  • Yayın Türü: Bildiri
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri