Farklı Ar/N2 Plazma Gazı Oranlarında Reaktif Püskürtme Yöntemiyle TiN ve TiNxOy İnce Film Kaplamalar


Özkök Y., Akın Sönmez N. , Efkere H. İ. , Çakmak M. , Öztürk M. , Özçelik S.

19. Ulusal Optik, Elektro-Optik ve Fotonik Çalıştayı (FOTONİK 2017), Ankara, Türkiye, 29 Eylül 2017

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Ankara
  • Basıldığı Ülke: Türkiye