Back-Side Via Etching Application of SiC for GaN-Based Transistors


haliloglu m. t. , LİŞESİVDİN S. B. , ÖZBAY E.

1st Light and Light-Based Technologies Workshop, Ankara, Türkiye, 15 Mayıs - 15 Ağustos 2018, ss.51

  • Basıldığı Şehir: Ankara
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.51