Bu çalışmada; morfolojik, yapısal ve fotokatalitik özelliklerini incelemek amacıyla Ultrasonik Kimyasal Püskürtme yöntemi kullanılarak %1 Fe katkılı ZnO ince filmler üretilmiştir. UKP ile üretilen %1 Fe katkılı ZnO ince filmlere 500 ºC'de farklı sürelerde (1, 3 ve 5 saat) ısıl işlem uygulanmıştır. Farklı sürelerde tavlanan numunelere ait sonuçlar, ham numune ile morfolojik, yapısal özellikler ve fotokatalitik bozunma verimliliği açısından karşılaştırılmıştır. Isıl işlem süresi 3 saat olan ZnO ince filmlerinin daha belirgin kristal yapılara sahip olduğu ve yüzey morfolojilerinin daha düzenli ve homojen olduğu görülmüştür. Fotokatalitik davranışları incelendiğinde 3 saat ısıl işlem gören numunlerin bozunma verimliliğinin diğer numunelerden daha iyi olduğu belirlenmiştir. Sonuç olarak bu çalışma, ultrasonik kimyasal püskürtme yöntemiyle üretilen %1 Fe katkılı ZnO ince filmlerin tavlama süresinin filmlerin yapısal, morfolojik ve optik özelliklerini önemli ölçüde etkilediğini göstermektedir. Bu sonuçlar, özellikle 3 saatlik tavlama süresinin tercih edilmesi gerektiğini vurgulayarak ince film üretimi ve fotokatalitik uygulamalarda gelecekteki araştırmalara rehberlik etmektedir.
In this study, 1% Fe-doped ZnO thin films were deposited using Ultrasonic Spray Pyrolysis (USP) to examine their structural, morphological, and photocatalytic properties. Heat treatment was applied to 1% Fe-doped ZnO thin films produced with USP at 500 ºC for different times (1, 3, and 5 hours). The results of the samples heat-treated for different times were compared with the as-deposited sample in terms of morphological, structural properties, and photocatalytic degradation efficiency. It was observed that the ZnO thin films with a heat treatment time of 3 hours had more distinct crystal structures, and their surface morphologies were more regular and homogeneous. When the photocatalytic behaviors were examined, it was determined that the degradation efficiency of the samples heat-treated for 3 hours was better than the other samples. In conclusion, this study shows that the heat treatment time of 1% Fe-doped ZnO thin films deposited by USP significantly affects the films' structural, morphological properties, and photocatalytic activity behaviors. These results emphasize that the heat treatment time of 3 hours should be preferred and guide future research in thin film production and photocatalytic applications.