Some Physical Properties of Al2O3 Thin Films Grown by ALD

---

ÇETİNEL O., POLAT GÖNÜLLÜ M., ATEŞ H.

4th International Conference on Engineering Technology and Applied Sciences (ICETAS), 24 - 28 Mayıs 2019, (Tam Metin Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Gazi Üniversitesi Adresli: Evet