Determination and Improvement of Deposition Parameters of TiO2 Thin Films via ALD


Creative Commons License

BOZKAYA M., KUPA I., POLAT GÖNÜLLÜ M. , ZAN R., OKYAY A. K. , ATEŞ H.

Journal of Materials Science and Engineering B, cilt.9, ss.32-40, 2019 (Diğer Kurumların Hakemli Dergileri)

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 9
  • Basım Tarihi: 2019
  • Doi Numarası: 10.17265/2161-6221/2019.1-2.005
  • Dergi Adı: Journal of Materials Science and Engineering B
  • Sayfa Sayıları: ss.32-40