Determination and Improvement of Deposition Parameters of TiO2 Thin Films via ALD

---

Atıf İçin Kopyala

BOZKAYA M., KUPA I., POLAT GÖNÜLLÜ M., ZAN R., OKYAY A. K., ATEŞ H.

Journal of Materials Science and Engineering B, cilt.9, ss.32-40, 2019 (Hakemli Dergi)

• Yayın Türü: Makale / Tam Makale
• Cilt numarası: 9
• Basım Tarihi: 2019
• Doi Numarası: 10.17265/2161-6221/2019.1-2.005
• Dergi Adı: Journal of Materials Science and Engineering B
• Derginin Tarandığı İndeksler: Aerospace Database, Metadex
• Sayfa Sayıları: ss.32-40
• Gazi Üniversitesi Adresli: Evet