AFM Probe Structures with Integrated Interferometric Sensing and Electrostatic Actuation

Değertekin F. L., Onaran A. G., TORUN H., BALANTEKİN M., Sarangapani K., Zhu C.

Kanazawa Workshop on Atomic Force Microscopy, Japonya, 12 - 18 Ocak 2007

  • Yayın Türü: Bildiri
  • Basıldığı Ülke: Japonya
  • Gazi Üniversitesi Adresli: Hayır