AFM Probe Structures with Integrated Interferometric Sensing and Electrostatic Actuation

---

Değertekin F. L., Onaran A. G., TORUN H., BALANTEKİN M., Sarangapani K., Zhu C.

Kanazawa Workshop on Atomic Force Microscopy, Japonya, 12 - 18 Ocak 2007

• Yayın Türü: Bildiri
• Basıldığı Ülke: Japonya
• Gazi Üniversitesi Adresli: Hayır