AFM Probe Structures with Integrated Interferometric Sensing and Electrostatic Actuation


Değertekin F. L. , Onaran A. G. , TORUN H., BALANTEKİN M. , Sarangapani K., Zhu C.

Kanazawa Workshop on Atomic Force Microscopy, Japonya, 12 - 18 Ocak 2007

  • Yayın Türü: Bildiri
  • Basıldığı Ülke: Japonya