Akademik Veri Yönetim Sistemi
Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2016
Tezin Dili: Türkçe
Öğrenci: Neslihan Bozkurt
Danışman: AKİF ÖZBAY
Özet:Bu çalışmada, geniş bant aralıklı MgZnO ince filmlerinin farklı alaşım oranlarında üretimi ve karakterizasyonu çalışmaları gerçekleştirildi. MgZnO ince filmler oda sıcaklığında korning cam, safir ve silikon alttaşlar üzerine Argon gazı basıncı altında konfokal hedef püskürtmesine sahip eş püskürtme tekniği ile hazırlandı. MgZnO ince filmler büyütülürken ZnO'nun RF gücü sabit tutulup, MgO farklı RF güç değerlerinde (40W, 50W, 75W, 100W) kaplamalar gerçekleştirildi. Bunların yanı sıra, aynı şartlar altında ve farklı RF güç değerlerinde Si, korning cam ve safir alttaş üzerine MgO, Si ve korning cam alttaş üzerine ZnO ince filmleri kaplandı. X-ışını kırınımı ölçümleri MgZnO ince filmlerin hegzagonal wurtzite fazda büyüdüğünü göstermektedir. Üretilen ince filmlerin optiksel analizleri UV-Vis spektrometre ile belirlendi. Filmlerin yasak enerji aralıkları (Eg) soğurma spektrumundan elde edildi. Optik soğurma spektrumu verilerinden MgZnO filmlerin alaşım oranları belirlendi. Bant aralığının RF gücüne ve alaşım oranına göre parabolik bir değişim gösterdiği belirlendi. Filmlerin yüzey morfolojisi Atomik Kuvvet Mikroskobu ile belirlendi. Analizler sonucunda elde edilen verilerle RF gücünün MgZnO ince filmler üzerindeki etkisi tartışıldı.