Al0,43Ga0,57N süperörgülerinin yapısal ve optik özelliklerinin incelenmesi

---

Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, FİZİK ANABİLİM DALI, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2007

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: HÜSEYİN TECİMER

Danışman: SÜLEYMAN ÖZÇELİK

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

Al0,43Ga0,57N SÜPERÖRGÜLERİNİN YAPISAL VE OPTİKÖZELİKLERİNİN İNCELENMESİ(Yüksek Lisans Tezi)Hüseyin TECİMERGAZİ ÜNİVERSİTESİFEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜOcak 2007ÖZETBu tez çalışmasında Bilkent Üniversitesi Nanoteknoloji Araştırma Merkezi'ndeMetal organik kimyasal buhar birikimi (MOCVD) tekniği ile büyütülen ikifarklı süperörgü Al0,43Ga0,57N/Al2O3 yarıiletken ince filmin yapısal ve optikselözellikleri yüksek çözünürlüklü X-ışını difraksiyon (HR-XRD) cihazı, atomikkuvvet mikroskobu (AFM) ve fotolüminesans (PL) kullanılarak incelendi.Alınan ölçümlerden numunelerin kalitesi ve yüzey morfolojisi belirlendi veliteratürle karşılaştırıldı.Bilim Kodu : 202.1.147Anahtar Kelimeler : AlGaN, HEMT, MOCVD, XRD, AFM, PLSayfa Adedi : 60Tez Yöneticisi : Prof. Dr. Süleyman ÖZÇELİK