METAL-YALITKAN-YARIİLETKEN(Au/SiO2/n-Si) YAPILARIN ELEKTRİKSEL ÖZELLİKLERİNİN I-V VE C-V ÖLÇÜM METOTLARI İLE İNCELENMESİ


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2009

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: Fadime ALITKAN(ZORLU)

Danışman: SEMRAN SAĞLAM

Özet:

Bu çalısmada, yalıtkan arayüzey tabakalı metal-yarıiletken (MY) yapılarda yalıtkan tabakanın kalınlığın ve seri direncin elektiriksel karakteristliklere etkisi deneysel akım-voltaj (I-V), kapasitans-voltaj (C-V), iletkenlik-voltaj (G/ω-V) metotları ile arastırıldı. Bu ölçümlerden yararlanarak diyotların doyma akımı (Io), idealite faktörü (n), potansiyel engel yüksekliği (ΦB(I-V)), arayüzey durumların yoğunluğu (Nss), verici katkı atomlarının yoğunluğu (ND), difüzyon potansiyeli (Vd), Fermi enerji seviyesi (EF) ve yapıların seri direncleri (Rs) elde edilerek literatürle karsılastırıldı. Deneysel sonuçlar, metal-yarıiletken (MY) arasındaki yalıtkan tabaka (SiO2), kalınlığının ve seri direncin yapının elektriksel karakteristikleri üzerinde önemli bir rol oynadığını gösterdi.