Metal-yalıtkan-yarıiletken (Au/SiO2/N-Si) yapıların elektriksel özelliklerinin I-V ve C-V ölçüm metotları ile incelenmesi

---

Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik Bölümü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2009

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: FADİME ALITKAN

Danışman: SEMRAN SAĞLAM

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

Bu çalışmada, yalıtkan arayüzey tabakalı metal-yarıiletken (MY) yapılarda yalıtkan tabakanın kalınlığın ve seri direncin elektiriksel karakteristliklere etkisi deneysel akım-voltaj (I-V), kapasitans-voltaj (C-V), iletkenlik-voltaj (G/ ? -V) metotları ile araştırıldı. Bu ölçümlerden yararlanarak diyotların doyma akımı (Io), idealite faktörü (n), potansiyel engel yüksekliği (?B(I-V)), arayüzey durumların yoğunluğu (Nss), verici katkı atomlarının yoğunluğu (ND), difüzyon potansiyeli (Vd), Fermi enerji seviyesi (EF) ve yapıların seri direncleri (Rs) elde edilerek literatürle karşılaştırıldı.Deneysel sonuçlar, metal-yarıiletken (MY) arasındaki yalıtkan tabaka (SiO2), kalınlığının ve seri direncin yapının elektriksel karakteristikleri üzerinde önemli bir rol oynadığını gösterdi.