Akademik Veri Yönetim Sistemi
Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2022
Tezin Dili: Türkçe
Öğrenci: Selçuk UTAŞ
Danışman: Hatice Hilal Kurt
Özet:
Çalışmamızda Dc plazma sistemleri kullanılarak farklı değer ve ölçüm sonuçlarının incelenmesi gerçekleştirilmiştir. Plazma sisteminde farklı yarı iletken malzemeler katot malzemesi olarak kullanılmıştır. SnO2 kaplı cam plaka anot olarak kullanılmıştır. Farklı basınç (p) ve voltaj (V) değerlerinde elektrotlar arası mesafe 50 µm, 100 µm ve 300 µm olarak ayarlanıp teorik araştırmalar yapılmıştır. Voltajlar (V) ve basınçlar (p)değiştirilerek elektron yoğunluğu, uzaysal yük yoğunluğu, göç eden elektron yoğunluğu, elektron akım yoğunlukları, mobilite ve Towsend katsayıları hesaplanmıştır. Her katot için bu sonuçlar tekrarlanmış olup oluşum grafikleri eklenmiştir. Böylece bir plazma sisteminin hangi voltajakım karakteristiğine sahip olduğunu ve çalışma aralığını belirlemiş olduk. Yüksek voltaj değerlerinde sistemde kullanılan katot malzemesi işlevini yitirerek hiç istenilmeyen ark bölgesine geçiş yapmıştır. 22 torr, 66 torr, 100 torr, 220 torr, 760 torr basınçlar simülasyona eklenmiştir. Sonuçlar karşılaştırılarak yorumlanmış ve Glow boşalması oluşumları COMSOL Multiphysics programının Plazma modülü ve Dc modülü ile oluşturulmuştur.
Anahtar Kelimeler : Mikro plazma hücresi, Gaz boşalma sistemleri, Dc Glow boşalması
Mobilite