Ni katkılı ZnO metal oksit yarı iletkenlerde gaz sensör parametrelerinin incelenmesi


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2017

Öğrenci: HAKAN SÜREL

Danışman: SELİM ACAR

Özet:

Bu çalışmada, azotmonoksit gazını algılamak için Ni katkılı Zn1-xNixO (x=0,05-0,1-0,15-0,2) ince filmler Successive Ionic Adsorption and Reaction (SILAR) metodu ile cam alttaşlar üzerine büyütüldü. Üretilen sensörlerin yapısal ve optik özellikleri X-ışını Kırınım Cihazı (XRD), Taramalı Elektron Mikroskopu (SEM) ve Optik Soğurma ölçümleri ile incelendi. X-ışını kırınım desenlerinden, tüm filmlerin kristal yapıda oluştuğu belirlendi. SEM görüntülerinden nikel konsantrasyonuna bağlı olarak üretilerin sensörlerin morfolojik özelliklerinin değiştiği gözlendi. Optik soğurma ölçümlerinden katkılama oranı arttıkça yasak enerji aralıklarında artma gözlendi. Üretilen yapıların gaz sensörü olarak çalışma sıcaklığının belirlenmesi için 30-135C sıcaklık aralığında gaz algılama ölçümleri yapıldı. 95 C'de en yüksek duyarlılıklar elde edildi. Tüm sensörler içerisinde Zn0,90Ni0,10O en yüksek duyarlılık göstermiştir.