RF magnetron sputter sistemi ile pasif devre elemanı rezistör üretimi ve karakterizasyonu

---

Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, -, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2019

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: KEMAL BERK SÖNMEZ

Danışman: SEFER BORA LİŞESİVDİN

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

Monolitik mikrodalga tümleşik devreler (MMIC), radar ve elektronik harp uygulamalarının temel yapıtaşını oluşturan mikrodalga parçaların hemen hepsinde kullanımı mevcut olan, günümüzün kritik teknolojileri arasında görülmektedir. Teknik açıdan donanımlı bir altyapı desteği ile geliştirilen GaN tabanlı MMIC yongalar, mikrodalga parçaların içerisinde yüksek voltaj ve yüksek sıcaklıkta performans göstermesinden ötürü güç yükselteç ve faz kaydırıcı olarak yüksek sınır frekanslarda çalışabilmesi özelliklerinden dolayı son yıllarda gelişen teknoloji ile farklı çalışma konuları için tercih edilir bir hale gelmiştir. MMIC teknolojisi, tek kristal alttaş üzerine aktif ve pasif devrelerin özel olarak tasarlanmış yapıların imal edilmesinde kullanılan bir teknolojidir. MMIC yapılarında pasif devre elemanı olarak görev alan rezistöryapıların RF magnetron saçtırmasistemi ile üretimi ve karakterizasyonu, geliştirme çalışmalarına paralel olarak 4 nokta prob düzeneği ile yapılan elektriksel ölçüm sonuçlarına göre 30 ohm/sq değerine sahip tabaka direnci ile tasarıma uygun şekilde elde edildi.