Zn1-xSNxO mos sensörlerinde uv ışığı altında no gaz algılama parametrelerinin incelenmes


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2020

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: Ali Orkun ÇAĞIRTEKİN

Danışman: SELİM ACAR

Özet:

Bu tez çalıĢmasında, Zn1-XSnXO (x = 0, 0.05, 0.10, 0.15, 0.20) nanoyapılar, ArdıĢık Ġyonik Tabaka Adsorpsiyonu ve Reaksiyonu (SILAR) yöntemi ile büyütüldü. Nanoyapıların yapısal, morfolojik ve kompozisyon özellikleri sırasıyla X-ıĢını difraktometresi (XRD), Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) ve Enerji Dağılımlı X-ıĢını Analizi (EDAX) ile karakterize edildi. Ġnce Filmlerin sıcaklığa bağlı direnç ölçümleri gerçekleĢtirildi. Sensörlerin katkılama oranına bağlı olarak aktivasyon enerjileri hesaplandı. NO gaz algılama ölçümleri sırasıyla sıcaklığın ve gaz konsantrasyonunun bir fonksiyonu olarak gerçekleĢtirildi. Ardından UV ıĢık altında NO gaz algılama özellikleri sistematik olarak incelendi. Zn0.90Sn0.10O sensörünün oda sıcaklığında 20 ppb NO gazı için duyarlılığının % 1,9'dan % 43'e çıktığı gözlendi. Ek olarak, hava ortamında ve 25 ppm NO gazı varlığında 257 􀁱C çalıĢma sıcaklığında empedans analizleri yapıldı. Zn0.90Sn0.10O sensörün gaz algılama özelliklerinin diğerlerinden daha iyi olduğu görüldü. Üretilen sensörlerin oksijen algılama özelliği ve Sn katkılanmasının gaz duyarlılığına etkisi tartıĢıldı.