YARIİLETKEN GAZ BOŞALMA SİSTEMİNDE PLAZMA SÜREÇLERİNİN MODELLENMESİ VE UYGULANMASI


Tezin Türü: Doktora

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2019

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: EVRİM TANRIVERDİ

Danışman: HATİCE HİLAL KURT

Özet:

Çalışmamızda kızılötesi görüntü çevirici sistemlerinin DC argon plazma sistemleri kullanılarak farklı değerlerdeki değişimlerin incelenmesi gerçekleştirilmiştir. DC Argon plazma sistemlerinde farklı yarıiletken malzemeler katot olarak kullanılmış, SnO2 kaplı cam plaka ise anot olarak tanımlanmıştır. Farklı basınç (p) ve elektrotlarası mesafe (d) için hem teorik olarak hem deneysel olarak araştırmalar yapılmıştır. Plazma oluşumu için sistemimizde Argon ve hava gazı kullanılmıştır. Teorik hesaplamalarda özellikle düşük basınç değerlerinde plazma parametreleri kullanılarak farklı p ve d değerine göre çok değişkenli değerler gözlenirken atmosferik basınç seviyesinde veya yakın bir değerinde p ve d değerlerine bağlı olarak anlamlı bir değişiklik olmadığı gözlendi. Teorik olarak elektron sıcaklığı, ortalama elektron enerjisi, mobilite, elektriksel potansiyel, yüzeysel yük yuğunluğu, termal hız, uzaysal yük yoğunluğu, elektron yoğunluğu ve Townsend katsayıları hesaplanmıştır, deneysel olarak ise akım voltaj karakteristiklerinin farklı yarıiletken katot, p, d ve yarıiletken katot çapları için ölçümler yapılmıştır. İkincil emisyon katsayı değerleri teorik olarak ölçülerek farklı parametrelere bağlı olarak plazma sisteminin paschen eğrisi belirlenmiştir. Buradan elde edilen sonuçlarla plazma sisteminin çalışma gerilimi belirlenerek en verimli akım-voltaj karakteristiğinin nasıl olması gerektiği belirlenmiştir. Deneysel çalışmalarda uygulanan voltaj 200 - 2000V arasındadır; teorik çalışmalarımızda ise COMSOL Multiphysics programının AC-DC modülü ve Plazma modülü kullanılarak çalışmalar tamamlanmıştır