Zn1-xSNxO mos sensörlerinde uv ışığı altında no gaz algılama parametrelerinin incelenmesi

---

Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, FİZİK ANABİLİM DALI, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2019

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: ALİ ORKUN ÇAĞIRTEKİN

Danışman: SELİM ACAR

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

Bu tez çalışmasında, Zn1-XSnXO (x = 0, 0.05, 0.10, 0.15, 0.20) nanoyapılar, Ardışık İyonik Tabaka Adsorpsiyonu ve Reaksiyonu (SILAR) yöntemi ile büyütüldü. Nanoyapıların yapısal, morfolojik ve kompozisyon özellikleri sırasıyla X-ışını difraktometresi (XRD), Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) ve Enerji Dağılımlı X-ışını Analizi (EDAX) ile karakterize edildi. İnce Filmlerin sıcaklığa bağlı direnç ölçümleri gerçekleştirildi. Sensörlerin katkılama oranına bağlı olarak aktivasyon enerjileri hesaplandı. NO gaz algılama ölçümleri sırasıyla sıcaklığın ve gaz konsantrasyonunun bir fonksiyonu olarak gerçekleştirildi. Ardından UV ışık altında NO gaz algılama özellikleri sistematik olarak incelendi. Zn0.90Sn0.10O sensörünün oda sıcaklığında 20 ppb NO gazı için duyarlılığının % 1,9'dan % 43'e çıktığı gözlendi. Ek olarak, hava ortamında ve 25 ppm NO gazı varlığında 257 oC çalışma sıcaklığında empedans analizleri yapıldı. Zn0.90Sn0.10O sensörün gaz algılama özelliklerinin diğerlerinden daha iyi olduğu görüldü. Üretilen sensörlerin oksijen algılama özelliği ve Sn katkılanmasının gaz duyarlılığına etkisi tartışıldı.