Yalıtkan üstü silikon tek kipli optik dalgakılavuzunun üretimi ve karakterizasyonu


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2013

Öğrenci: ÖZGÜR ARAS

Danışman: ELİF ORHAN

Özet:

Bu tez çalışmasında, yalıtkan üstü silikon (YÜS) tek kipli optik dalgakılavuzlarının tasarımı, üretimi ve karakterizasyonu gerçekleştirildi. Analitik ve nümerik yöntemler kullanarak YÜS dalgakılavuzu tasarlandı. Üretilecek dalgakılavuzu için uygun geometriler belirlendi ve tek kip elde edildi. Tasarım sonuçları göz önünde bulundurularak geleneksel optik litografik yöntemlerle tek kipli YÜS dalgakılavuzları üretildi. YÜS dalgakılavuzlarının optik giriş ve ilerleme kayıpları ticari cut-back metodu kullanılarak ölçüldü. YÜS dalgakılavuzunun optik giriş kaybı, TE ve TM polarizasyonlar için 4,9 dB olarak tespit edildi. Tek kipli YÜS dalgakılavuzunun optik ilerleme kayıpları, TE ve TM polarizasyonlar için sırasıyla 2,5 dB/mm ve 2,8 dB/mm olarak ölçüldü.