Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2013
Öğrenci: ÖZGÜR ARAS
Danışman: ELİF ORHAN
Özet:Bu tez çalışmasında, yalıtkan üstü silikon (YÜS) tek kipli optik dalgakılavuzlarının tasarımı, üretimi ve karakterizasyonu gerçekleştirildi. Analitik ve nümerik yöntemler kullanarak YÜS dalgakılavuzu tasarlandı. Üretilecek dalgakılavuzu için uygun geometriler belirlendi ve tek kip elde edildi. Tasarım sonuçları göz önünde bulundurularak geleneksel optik litografik yöntemlerle tek kipli YÜS dalgakılavuzları üretildi. YÜS dalgakılavuzlarının optik giriş ve ilerleme kayıpları ticari cut-back metodu kullanılarak ölçüldü. YÜS dalgakılavuzunun optik giriş kaybı, TE ve TM polarizasyonlar için 4,9 dB olarak tespit edildi. Tek kipli YÜS dalgakılavuzunun optik ilerleme kayıpları, TE ve TM polarizasyonlar için sırasıyla 2,5 dB/mm ve 2,8 dB/mm olarak ölçüldü.