Akademik Veri Yönetim Sistemi
Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2016
Öğrenci: MEHMET MÜRŞİT SİNCAR
Danışman: SELİM ACAR
Özet:Bu çalışmada, atomik tabaka biriktirme (ALD) metodu ile Al/Al2O3/p-Si, Al/TiO2/p-Si ve Al/TiO2/Al2O3/p-Si metaloksit-yarıiletken yapılar üretildi. 30-250 ˚C arasında 100 ppm NO2 gazına karşı sıcaklığa bağlı ölçümler yapılarak numunelerin gaz algılama özellikleri araştırıldı.Numunelerin optimum çalışma sıcaklığı 200 ˚C olarak belirlendi. 200 ˚Czde farklı gaz konsantrasyonlarındagaz algılama ölçümleri yapıldı. Bu sıcaklıkta en iyi duyarlılığı %65 ile Al/TiO2/Al2O3/p-Si numunesi gösterirken, Al/Al2O3/p-Si numunesinde %10 duyarlılık gözlendi. Üretilen numunelerde oda sıcaklığında NO2 gazına karşı duyarlılık elde edebilmek için 254 nm dolga boylu UV ışık altında farklı gaz konsantrasyonlarında gaz algılama ölçümleri yapıldı. 100ppm NO2 gazına karşı Al/TiO2/Al2O3/p-Si numunesinde %19 duyarlılık elde edilirken, Al/TiO2/p-Si numunesi için %11 ve Al/Al2O3/p-Si numunesi için %0,8 duyarlılık elde edildi. TiO2/Al2O3 heteroyapının sensör cevabının en iyi olduğu görüldü.