Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2010
Tezin Dili: Türkçe
Öğrenci: Faruk KİRAZOĞLU
Danışman: ADEM TATAROĞLU
Özet:Bu çalışmada, Au/SnO2/n-Si (MIS) yapının, frekans ve sıcaklığa bağlı kapasitans-voltaj (C-V) ve iletkenlik-voltaj (G/w-V) karakteristikleri, seri direnç (Rs) ve arayüzey durum (Nss) etkileri dikkate alınarak, sırasıyla 100 Hz-1 MHz frekans ve 100-400 K sıcaklık aralığında incelendi. Nss ve Rs değerlerinin önemli ölçüde frekans ve sıcaklığa bağlı olduğu tespit edildi. Seri direnç hem artan frekans hem de artan sıcaklık ile azalmaktadır. Ayrıca, ölçülen kapasitans (Cm) ve iletkenlik (Gm/w) değerleri MIS yapının gerçek kapasitans ve iletkenliğini bulmak için, seri direnç etkisinden dolayı düzeltilmiştir. Deneysel sonuçlar, metal-yarıiletken arasındaki arayüzey yalıtkan tabaka kalınlığı, seri direnç ve arayüzey durumları MIS yapının elektriksel karakteristikleri üzerinde önemli bir rol oynadığını göstermiştir.