Akademik Veri Yönetim Sistemi
Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2019
Öğrenci: GÖKHAN MEHMETOĞLU
Danışman: YILDIRIM AYDOĞDU
Özet:Günümüze kadar optik spektrumun farklı bölgelerinde çalışan fotodetektör dizini üretimlerini bulmak mümkündür. Tez çalışması kapsamında; optik spektrumun ultraviyole (UV) bölgesinde çalışan metal oksit tabanlı, 640x512 çözünürlüğe sahip UV detektör dizininin mikrofabrikasyon yöntemleri ile üretilmesi ve üretilen fotodetektör dizininin, optik ve elektronik bileşenler birleştirilerek UV bölgede görüntü alabilen kamera geliştirilmesi amaçlanmıştır. Geniş bant enerjisine sahip Metal Oksit malzemelerin UV ışığı soğurma özellikleri kullanılarak fotodetektör tasarımı ve bu fotodetektörlerin 640x512 satır sütun boyutlarında matris şeklinde dizilimlerinden Metal Oksit fotodetektör dizini oluşturulmuştur. Fotodetektör dizini üretimi İ.D. Bilkent Üniversitesi NANOTAM laboratuvarlarında bulunan sınıf 100 temiz odalarda gerçekleştirilmiş olup, fotolitografi, ince film büyütme gibi mikro fabrikasyon teknikleri kullanılarak yapılmıştır. Aygıtların üretiminde safir alttaş üzerine fotolitografi, RF magnetron saçtırma, termal ve elektron demeti buharlaştırma yöntemleri kullanılarak incefilmler katmanlar ile fotodetektör dizininin yapısı oluşturulmuştur. Üretilen fotodetektör dizinlerinin elektriksel ve optik karakterizasyonu yapılmış olup 365 nm dalga boyu için 0.65 A/W tepkiselliğe sahip ve 250 nm ile 400 nm arasında tepki veren fotodetektör ve fotodetektör dizini üretilmiştir. Üretilen fotodetektör dizini kamera elektroniğine bağlanmıştır. Kamera optiği ve kamera elektroniği ile birlikte UV bölgede görüntü alabilen kamera haline gelmiştir.