Akademik Veri Yönetim Sistemi
Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Gazi Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2017
Öğrenci: YELİZ ÖZKÖK
Danışman: MEHMET ÇAKMAK
Özet:Günümüzde TiN ve diğer bileşimlerinden oluşan ince filmler, farklı yüzeylere tutunma ve mekanik dayanımları sayesinde, havacılık ve uzay sanayisinde, biyouyumlulukları ile sağlık alanında yaygın olarak kullanılmaktadır. Özellikle ortopedik protez, diş implantları, kalp kapakçığı gibi medikal uygulamalarda TiN malzemeler dikkat çekmektedir. Bu tezde, p-tipi Si alttaş üzerine farklı argon/azot (Ar/N2) plazma gazı oranlarında (90/10, 80/20, 70/30) reaktif püskürtme yöntemi ile TiN ve TiNxOy ince filmler oluşturuldu. Her bir numune kaplama sonrasında 450 ve 550 oC'de ısıl işleme tabi tutuldu. Elde edilen filmlerin yapısal, elektriksel ve morfolojik analizleri sırasıyla, X-ışınları difraksiyonu (XRD), Hall etkisi ve atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ölçüm sistemleri ile incelendi. Ayrıca, incelenen numunelerdeki Titanyum (Ti), Azot (N), Oksijen (O), Silisyum (Si) atomik türlerinin dağılımı ikincil iyon kütle spektrometresi (SIMS) derinlik profili ile gözlendi.